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                            ◆可切换控制模式

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                            线性马达机台被设计用来承载加
                            工激光头在平台上方移动,客户
                            的加工激光头用来切割双层玻璃 同动架构线性马达定位

                            下轴采用LMC系列线性马达使
                            得AOI光学检测可以达到相当高
                            的平滑运动及优良的取像;上轴利用LMS马达带动Z轴的螺杆

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                            在微米工程等级的应用以及晶圆
                            设备中尤其重视绝对精度及洁净
                            室适用性 采用线性马达高精度XY平台为最佳选择

                            晶圆表面的管制以及晶圆或玻
                            璃面板的光罩通常需要采用空
                            气轴承式的XY平台,以检测出极微小的缺陷或制作出

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